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[期刊论文] 作者：陈伟平,徐景俊,
来源：哈尔滨工业大学学报 年份：1997
通过分析硅的结晶学特性及实验考察硅各向异性腐的择估腐蚀面和削角线，研究了尖角与玟角的掩模补偿方案，提取了削角因子，并且给出了针对于特定腐蚀深度的最佳补偿图形及设计参数......
[期刊论文] 作者：陈伟平,王东红,马国忠,王贵华,徐景俊,
来源：哈尔滨工业大学学报 年份：1997
通过分析硅的结晶学特性及实验考察硅各向异性腐蚀的择优腐蚀面和削角线，研究了尖角与方角的掩模补偿方案，提取了削角因子，并且给出了针对于特定腐蚀深度的最佳补偿图形及设计参......
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