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[期刊论文] 作者：徐端颐,范晓冬,蒋培军,齐国生,,
来源：电子工业专用设备 年份：2008
介绍一种以显微镜结构为基础的浸没式阵列激光扫描直写光刻系统的光路结构、有效焦深、自动调焦及曝光能量控制的原理和方法。实验系统的有效数值孔径（ENA）为1．83，使用的激光波长......
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