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[期刊论文] 作者：崔玉国,刘康,惠相君,马剑强,周鹏飞,
来源：仪器仪表学报 年份：2018
为实现平面式大型微结构表面的快速测量,提出了一种螺旋式扫描测量方法.基于该方法的测量系统由x、y、z向直线运动平台、绕z轴旋转的直接驱动(DD)马达以及激光位移传感器组成...
[期刊论文] 作者：刘康, 孙庆龙, 卢志诚, 应志奇, 惠相君, 周鹏飞, 崔,
来源：宁波大学学报(理工版) 年份：2018
为实现精密表面三维形貌的快速测量,提出一种螺旋式扫描测量方法.首先,基于x、y、z向直线运动平台、DD马达旋转平台以及激光位移传感器,搭建三维形貌测量系统,其中被测试件表...
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