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[期刊论文] 作者:隋鹏飞,黄士勇,戴振宏,, 来源:曲阜师范大学学报(自然科学版) 年份:2012
利用一种定制设计的诱导耦合等离子体辅助射频(RF)磁控溅射沉积技术,在玻璃衬底上制备了N掺杂的P型氧化锌(ZnO:N)薄膜体系,并使用了反应Ar+N2混合气体烧结的ZnO靶材.在不同技术条件下......
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