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[学位论文] 作者：文耀华,,
来源： 年份：2012
超精密加工技术在精密机械、汽车、航空、航天、IC制造和微电子等诸多高新科技领域都有着非常重要而又广泛的应用,其中高精度主轴又是实现超精密加工技术的核心部件。近年来,...
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