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[期刊论文] 作者:徐淑艳,马欣新,孙明仁,方丽红, 来源:稀有金属材料与工程 年份:2005
采用直流磁控溅射法制备了B-C-N薄膜.通过改变基体偏压,研究其对薄膜的成分、结构和力学性能的影响.X射线光电子谱(XPS)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)试验结果表明薄膜中存在着...
[期刊论文] 作者:徐淑艳,马欣新,孙明仁,方丽红,XuShuyan,MaXinxin,SunMingren,FangLihong, 来源:稀有金属材料与工程 年份:2005
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