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[学位论文] 作者：李中洲,
来源：中国石油大学（华东） 年份：2018
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[期刊论文] 作者：李中洲,余隽,周君伟,耿万鑫,唐祯安,
来源：仪表技术与传感器 年份：2018
微热板式气体传感器具有功耗低、体积小和灵敏度高等优点,具有良好的产业化前景,而传感器芯片批量制造成品率与单芯片加工成本是其能否产业化的关键。在传感器芯片批量制造中...
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