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[期刊论文] 作者：李志胜, 刘小江, 段玉权, 林琼, 王晓冬,
来源：真空 年份：2022
随着聚对二甲苯（Parylene）镀膜技术的快速发展和应用，如何有效提高聚对二甲苯材料的利用率、提高成膜质量、降低生产成本等在工业化生产过程中被广泛关注。本文对常规聚对二甲苯真空镀膜设备的结构特点和应用现状进行了详细分析，结合稀薄气体流动特性、传热学及工业......
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