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[期刊论文] 作者:李愿杰,李智伟,, 来源:东方电气评论 年份:2013
对不同单晶硅片中的替位碳含量进行了常温/低温(〈15K)红外光谱测试。通过对比研究发现,在所有实验样品中,除一个碳含量高的样品相对偏差较大以外,其余样品的相对偏差都很小,均在&#1......
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