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[期刊论文] 作者:王文襄,王晋林,李水霞,张文钊, 来源:测试技术学报 年份:2002
本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数百赫兹的宽的动态频响使它们在兵工测试领域...
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