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[期刊论文] 作者：李立圆,,
来源：大众科技 年份：2015
压电传导单晶硅MEMS谐振器是压电谐振器的一种，与传统的声表面波谐振和薄膜体声波谐振的不同在于使用体硅作为能量传导介质。单晶硅比石英晶体具有更高的能量密度，因此谐振器具......
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