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[期刊论文] 作者：任殿胜,王为,李雨辰,严如岳,
来源：分析化学 年份：2003
用X射线光电子能谱(XPS),测量了Ga3d和As3d光电子峰的结合能值,指认了砷化镓(GaAs)晶片表面的氧化物组成,计算了表面氧化层的厚度,定量分析了表面的化学组成;比较了几种不同...
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