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[期刊论文] 作者:李颂战,杨艳芹,王水兵,刘文琮,, 来源:功能材料 年份:2007
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上沉积了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜。借助XRD、AFM和SEM研究了衬底温度、退火温度、溅射气压等不同的溅射参数对Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的晶化行为和显...
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