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[期刊论文] 作者：杨和梅,姚正军,,
来源：江苏冶金 年份：2005
为了研究衬底温度对Al2O3薄膜表面形貌和绝缘性的影响,用奥氏体不锈钢作衬底,在不同温度下用直流反应磁空溅射法直接衬底Al2O3薄膜.把在室温、100℃,250℃和400℃下衬底的样...
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