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[学位论文] 作者：杨拥军,
来源：东南大学 年份：2005
本论文主要有三个方面的研究内容：一是体硅微机械关键加工技术研究；二是微机械电子隧穿加速度传感器研究；三是微机械热对流加速度传感器研究。 本论文首先阐述了微电子机械系......
[期刊论文] 作者：何洪涛,杨拥军,
来源：中国机械工程 年份：2005
介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的...
[期刊论文] 作者：凌平,杨拥军,王清,
来源：西安体育学院学报 年份：2005
体育运动责任保险是指以被保险人对第三者依法应负的民事赔偿责任为保险标的的保险.体育运动责任保险属财产保险业务范围,其承保的标的是一种无形的民事损害赔偿责任.通过体...
[期刊论文] 作者：何洪涛，杨拥军，HeHongtao，YangYongjun,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：孙豹,陈福深,杨拥军,,
来源：电子科技大学学报 年份：2005
针对电磁兼容测试中对小尺寸大带宽电场传感器的需求,用x切y传iNbO3晶体的M-Z干涉仪结构, 设计并制作了一种实用的集成光波导电场传感器．器件含有10段电极,尺寸为60min×6...
[期刊论文] 作者：杨拥军,陈福深,郑俊,,
来源：电子科技大学学报 年份：2005
针对光纤通信和光传感中常用的集成光学光调制嚣,运用有限差分方法分析了脊型结构光调制器的微波传播特性,建立了相应的数值仿真模型．数值计算表明,脊型结构光调制器比普通结...
[期刊论文] 作者：汤学华,尤政,杨拥军,
来源：压电与声光 年份：2005
隧穿磁强计是一种基于量子力学中隧道效应原理的新型磁强计,该文给出了两种隧穿磁强计方案,一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互垂直的垂直式方案,另一种是洛伦次力方向和...
[期刊论文] 作者：黄凤文, 吴育华, 杨拥军,
来源：天津理工大学学报 年份：2005
股指期货是一种新的金融衍生产品,对发展和完善我国证券市场具有重要意义.本文在详细介绍了股指期货的特点和功能的基础上,借鉴发达国家和地区股指期货推出和发展经验,结合我...
[期刊论文] 作者：吕树海,罗蓉,杨拥军,吕苗,
来源：中国机械工程 年份：2005
介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性....
[期刊论文] 作者：徐永青,杨拥军,郑七龙,李海军,
来源：中国机械工程 年份：2005
提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术.采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刻蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS...
[期刊论文] 作者：吕树海，罗蓉，杨拥军，吕苗，LuShuhai，LuoRong,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：徐永青，杨拥军，郑七龙，李海军，XuYongqing，Yan,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：吝海锋,吕苗,杨拥军,师谦,郑锋,恩云飞,
来源：中国机械工程 年份：2005
探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析....
[期刊论文] 作者：吝海锋，吕苗，杨拥军，师谦，郑锋，恩云飞，LinHaifen,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[会议论文] 作者：吝海锋[1]吕苗[1]杨拥军[1]师谦[2]郑锋[1]恩云飞[2],
来源：中国微米纳米技术第七届学术年会 年份：2005
本文探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机...
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