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偏压对Zr-Nb-N扩散阻挡层成分与结构的影响
[期刊论文] 作者：信绍广,宋忠孝,杨玉学,, 来源：稀有金属与硬质合金 年份：2012
用射频反应磁控溅射法在不同偏压下沉积了Zr-Nb-N扩散阻挡层,并通过EDS、XRD、TEM和电阻测试仪等,分析了偏压对Zr-Nb-N薄膜结构与电性能的影响。结果表明Zr-Nb-N薄膜的成分、...
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