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[期刊论文] 作者：沈峰,陈博宇,栾晓东,,
来源：石油化工自动化 年份：2016
对浮筒液位变送器的测量原理和计算方法进行了介绍，针对浮筒液位变送器测量精度低的问题，对霍尔元件检测磁钢排列进行了改进，提高了浮筒液位变送器的测量精度。对改进前后霍尔元......
[期刊论文] 作者：赵亚东,刘玉岭,栾晓东,,
来源：微纳电子技术 年份：2016
研究了新型碱性铜布线抛光液的化学作用。通过改变FA/O螯合剂以及氧化剂H2O2的体积分数,分析了不同体积分数的FA/O螯合剂和氧化剂H2O2条件下对铜抛光速率、腐蚀电流以及静态...
[期刊论文] 作者：栾晓东,陈博宇,沈峰,,
来源：科技创新与应用 年份：2016
靶式流量变送器是一种可以用于测量特殊介质的流量计,采用的弹性元件有两种：一种是薄弹性片,另外一种是薄金属管内壁粘贴传感器。鉴于目前靶式流量变送器采用的弹性元件存在的......
[期刊论文] 作者：张文倩,刘玉岭,王辰伟,高娇娇,栾晓东,,
来源：电镀与涂饰 年份：2016
在工作压力2psi，抛光头转速55r／min，抛光盘转速60r／min，流量150mL／L，温度22．7℃的条件下，采用一种不合H202的碱性抛光液对Cu、Ta、Si02绝缘介质3种材料进行化学机械抛光（CMP）。通过研究......
[期刊论文] 作者：欧阳涛,底青云,安志国,李萌,栾晓东,张文伟,,
来源：地球物理学进展 年份：2016
可控源音频大地电磁法(controlled source audiofrequency magnetotelluric,CSAMT)由于其相较于其他物探方法具有探测深度大、不受高阻层屏蔽、横向分辨率高等优点而被逐渐应...
[期刊论文] 作者：张文倩,刘玉岭,王辰伟,洪姣,王娟,栾晓东,,
来源：微纳电子技术 年份：2016
针对直径300 mm硅晶圆的粗抛,研究了不同稀释比例的FA/O型硅片粗抛液对硅去除速率的影响,发现按1∶30的体积比稀释时硅片背面去除速率偏低。通过深入分析1∶30的稀释体积比下...
[期刊论文] 作者：栾晓东,刘玉岭,王辰伟,牛新环,王娟,张文倩,,
来源：微纳电子技术 年份：2016
研究了抛光液中磨料、螯合剂、表面活性剂和氧化剂对Cu/Ru/SiO2材料去除速率选择比的影响。利用电化学和磨料颗粒表面Zeta电位对H2O2和KIO4在Cu/Ru抛光中的作用进行了分析。...
[期刊论文] 作者：栾晓东,牛新环,刘玉岭,闫辰奇,赵亚东,王仲杰,王辰伟,,
来源：微纳电子技术 年份：2016
选用非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO),通过自制的碱性铜抛光液,在E460E机台上研究不同体积分数活性剂对铜化学机械抛光(CMP)效果的影响。利用原子力显微镜(AFM)观察抛...
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