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[期刊论文] 作者：栾晓东,樊硕晨,贾儒,刘童亲,张拓,陆伟航,
来源：微纳电子技术 年份：2023
针对新型阻挡层抛光液存在Cu和正硅酸乙酯（TEOS）抛光速率一致性差、运输贮存过程中细菌滋生造成抛光表面缺陷的问题，选取脂肪醇聚氧乙烯醚（AEO）非离子表面活性剂和作为杀菌剂的阳离子表面活性剂十二烷基二甲基苄基氯化铵（DDBAC）,通过复配2种表面活性剂研究其对Cu和TEOS......
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