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[期刊论文] 作者:栾桂冬,, 来源:应用声学 年份:2012
MEMS(micro-electromechanical systems)超声换能器(MEMS ultrasonic transducer,简称MUT)是采用微电子和微机械加工技术制作的新型超声换能器。与传统超声换能器相比,MUT具...
[期刊论文] 作者:栾桂冬,, 来源:应用声学 年份:2012
MEMS(micro-electromechanical systems)超声换能器(MEMS ultrasonic transducer,简称MUT)是采用微电子和微机械加工技术制作的新型超声换能器。与传统超声换能器相比,MUT具...
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