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[期刊论文] 作者：梁凤超,,
来源：光电工程 年份：2008
为分析并避免参考零点误差对凹球面光刻恒定曝光量控制算法的影响，建立了零点误差与扫描线速度、扫描弧长关系的数学模型并给出了关系曲线。分析得出：参考零点俯仰定位误差会造......
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