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[期刊论文] 作者：杨真, 柳梦雨, 王振宝, 黄永, 梁晓光,
来源：微纳电子技术 年份：2023
对磁性传感器件的微电子机械系统（MEMS）加工技术以及在生物医学检测方面的应用进行了简单阐述，分析了磁性生物传感技术的工作原理，重点介绍了巨磁阻抗（GMI）、巨磁阻（GMR）和微磁通门传感器的MEMS制备工艺，其中详述了磁性传感器的材料、几何尺寸、结构以及基底对其性能的影......
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