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[期刊论文] 作者：张辉,武亚红,黄润才,
来源：微电子学与计算机 年份：2007
介绍了一个对汉语语料进行切分加工的系统，该系统结合了规则和统计两类方法，可以按多种方法输出切分结果．并根据概率信息在分词阶段就对歧义进行适当处理，并可保留少数在分词阶段......
[期刊论文] 作者：武亚红,刘玉岭,马振国,王立发,陈景,,
来源：微纳电子技术 年份：2007
ULSI多层铜互连线中，由于Cu与Ta的硬度不同带来抛光速率的差异，使得在CMP过程中各种缺陷如碟形坑缺陷、磨蚀缺陷板易发生。研究分析了H2O2、有机碱对Cu和Ta抛光速率的影响，并进...
[期刊论文] 作者：王立发,刘玉岭,陈景,武亚红,马振国,
来源：微纳电子技术 年份：2007
分析了硬盘盘片的结构特点及硬盘基板的作用。在超净实验室中,通过调节氧化剂的含量,对硬盘基板进行了化学机械抛光。分析了不同氧化剂的含量对硬盘基板抛光速率的影响。对抛...
[期刊论文] 作者：陈景,刘玉岭,王立发,武亚红,马振国,
来源：微纳电子技术 年份：2007
阐明了金属化学机械抛光的机理,同时介绍了铝合金化学机械抛光过程中存在的问题,并提出采用碱性抛光液进行实验;分析了抛光液、压力、温度、pH值参数、FA/OⅠ型活性剂对LY12...
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