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[期刊论文] 作者:王道,李丽,武少华,孟声,陈霭璠, 来源:化工学报 年份:2003
采用溶胶 凝胶法和自旋涂覆技术在二氧化硅为基材的梳状电极电容器 (IDC)上形成有机硅酸酯的气敏涂层 .在室温和 0 1kHz、 1kHz、 10kHz频率下测定了该电容器的电容 ,实验表明其电容的改变值和气氛中二氧化硫 (SO2 )浓度的变化呈线性关系 ,亦与测量时使用的频......
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