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[期刊论文] 作者：邢海龙,金伟,梁传辉,代波,任勇,毛新春,王东平,王小英,陈长安,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2021
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究.实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐......
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