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[期刊论文] 作者:齐东丽,宋健宇,沈龙海, 来源:表面技术 年份:2019
目的研究N2气流量比对直流反应磁控溅射Mo-N涂层结构、力学性能和摩擦性能的影响。方法采用直流反应磁控溅射技术在304不锈钢基体表面制备Mo-N涂层,对涂层结构进行X射线衍射(...
[期刊论文] 作者:吕伟, 刘俊, 赵鹏宇, 李健亮, 李思达, 沈龙海,, 来源:发光学报 年份:2019
采用直流反应磁控溅射法,在玻璃衬底上生长了沿(002)择优取向的AlN薄膜,用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对AlN薄膜结构和表面形貌进行表征,并测量了AlN薄膜在405 nm...
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