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[期刊论文] 作者：潘春荣,黎良,,
来源：控制理论与应用 年份：2015
晶圆重入是半导体组合设备加工中典型的复杂加工工艺,分析和优化暂态加工过程对于晶圆重入加工具有重要意义.为了满足加工需求和提高组合设备的加工性能,基于稳态重入加工的...
[期刊论文] 作者：潘春荣,伍乃骐,,
来源：计算机集成制造系统 年份：2015
随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初...
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