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[期刊论文] 作者：赵珉,陈宝钦,牛洁斌,谢常青,刘明,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
首先从实验现象出发,阐述了纳米级高密度、高深宽比电子抗蚀剂图形结构发生倒塌与粘连的主要几何因素及其关系。除了结构的几何因素外,结合“Beam Sway”模型分析了抗蚀剂微...
[期刊论文] 作者：刘果果,魏珂,黄俊,刘新宇,牛洁斌,
来源：红外与毫米波学报 年份：2011
报道了最大振荡频率为200 GHz的基于蓝宝石衬底的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管（HEMT）.外延材料结构采用InGaN背势垒层来减小短沟道效应,器件采用凹栅槽和T型栅结合的工艺,实现...
[期刊论文] 作者：刘果果,魏珂,黄俊,刘新宇,牛洁斌,,
来源：红外与毫米波学报 年份：2011
报道了最大振荡频率为200 GHz的基于蓝宝石衬底的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT).外延材料结构采用InGaN背势垒层来减小短沟道效应,器件采用凹栅槽和T型栅结合的工艺,实...
[期刊论文] 作者：谢常青,朱效立,牛洁斌,李海亮,刘明,陈宝钦,胡媛,史丽娜,,
来源：光学学报 年份：2011
微纳光学结构制备技术一直是微纳光子学器件发展的技术瓶颈。针对微纳光学结构制备技术向小尺寸、高精度和广泛应用发展的趋势,报道了基于电子束、X射线和接近式光学的混合光...
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