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[期刊论文] 作者：李海亮,史丽娜,牛洁斌,王冠亚,谢常青,
来源：光学精密工程 年份：2017
为得到同步辐射光源硬X射线波段(>2keV)需要的高宽比高分辨率波带片，本文利用高加速电压（100kV)电子束光刻配合Si3N4镂空薄膜直写来减少背散射的方法，对硬X射线波带片制作技术进...
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