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[会议论文] 作者：谢红云, 张蔚, 何莉剑, 杨华, 王扬, 沙永萍, 甘军宁,
来源： 年份：2004
为满足10Gbit/s光纤通信系统光电器件的封装要求,本文给出了三种不同硅衬底上微波共面波导(Coplanar Waveguide,CPW)的设计和制备,包括普通的低阻硅(Low Resitivity Silicon,...
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