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[期刊论文] 作者:刘霞芳,田文超,, 来源:压电与声光 年份:2007
数字微镜装置(DMD)是微电子机械系统(MEMS)的典型器件,是数字光处理(DLP)的核心。应用积分法推导出DMD倾斜极板电容静电转矩表达式;由微观连续介质理论,推导出粘附力矩表达式;根据......
[期刊论文] 作者:田文超,贾建援,陈光焱,, 来源:应用力学学报 年份:2007
针对严重影响MEMS性能和可靠性的微梁粘着问题,根据W-S微观连续介质理论,建立了粘着力数学模型;针对粘着力对微梁刚度的强非线性影响,利用单元离散法,通过对粘着力时空变量相...
[期刊论文] 作者:朱应敏,贾建援,田文超,樊康旗, 来源:西安电子科技大学学报 年份:2007
基于永磁铁磁力随位移的非线性变化特性,提出了一种新型磁力微加速度开关设计方案.建立了含有永磁力、气膜阻尼力、表面接触力、惯性力的开关系统动力学分析模型,给出了质量块在......
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