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[期刊论文] 作者：曾莹莹,罗志扬,,
来源：材料保护 年份：2011
为了进一步探讨离子柬溅射铜钨薄膜的结构，在铁片上离子束溅射铜钨薄膜，研究了轰击离子束能量及低能辅助轰击方式对薄膜相结构和厚度的影响。结果表明：随轰击铜靶离子束能量增加......
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