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[期刊论文] 作者:胡宽,宋笔锋,常新龙,张琳,, 来源:弹箭与制导学报 年份:2007
在固体火箭发动机工作效能分析的基础上,利用解释结构模型建立固体火箭发动机工作效能的多层递阶模型,并运用系统工程的层次分析法分析计算得出固体火箭发动机工作效能诸要素的......
[期刊论文] 作者:胡光,顾豪爽,张凯,胡宽,吴小鹏,, 来源:电子元件与材料 年份:2007
采用体硅微细加工工艺制备了背空腔型AIN薄膜体声波谐振器。研究了压电层、上电极及支撑层厚度对谐振器性能的影响。测试结果表明,谐振器所用AIN压电薄膜具有(002)择优取向,器件......
[期刊论文] 作者:胡宽,顾豪爽,张凯,胡光,吴小鹏,熊娟, 来源:功能材料 年份:2007
采用体硅微细加工工艺制备了基于AlN压电材料的薄膜腔声谐振器,研究了器件结构中谐振区形状和面积对谐振器性能的影响。以X射线衍射仪、扫描电镜表征了AlN压电薄膜的结构及形...
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