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[会议论文] 作者:王超群,胡广勇, 来源:帕纳科中国第十届X射线分析仪器用户技术交流会 年份:2008
利用X射线的三轴晶高分辨衍射技术分析了GaAs晶片高温退火过程中晶体结晶完整性以及高温退火过程中石墨接触区域热应力对位错影响.结果表明:在高温退火条件下,GaAs晶体与石墨接触区域热导不均匀造成的热应力,致使该区域范性形变,产生高密度的位错.同时,GaAs晶体......
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