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[期刊论文] 作者：高昕星,胡明祎,兰日清,刘庆宾,赵安中,
来源：仪表技术与传感器 年份：2022
要:随着我国重大建设项目的日益增多,核电设施、大型桥梁、大科学装置等重要建筑工程对其所处环境的振动控制要求愈发苛刻,对工程振动的监测需求也日益强烈.基于硅微加工和超精密制造的MEMS加速度计集成度更高、尺寸更小、功耗和成本更低,高度契合需要使用极多......
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