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[期刊论文] 作者：肖心举,黎兵,江海波,杨慧敏,胡鹏臣,丁超,明振训,冯良桓,,
来源：西南民族大学学报（自然科学版） 年份：2004
采用磁控溅射法,在玻璃衬底上沉积了ZnS多晶薄膜,研究了衬底温度和Ar气流量对ZnS薄膜质量的影响.利用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度,计算了薄膜的沉积速率.使用X射线衍射(XRD)...
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