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[期刊论文] 作者：范立伟,卢铁城,敦少博,胡又文,陈青云,胡强,游草风,张松宝,
来源：四川大学学报（自然科学版） 年份：2004
采用离子注入法及退火工艺,在硅基二氧化硅薄膜中制备了镶嵌结构的天然Ge纳米晶样品.通过退火实验研究,发现随着退火温度的升高,纳米晶的晶态峰峰位红移,这意味着Ge纳米晶受...
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