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[学位论文] 作者:詹宝华, 来源:浙江大学 年份:2006
本文全面介绍了镀膜玻璃的发展概况、薄膜均匀性和附着力的研究现状、镀膜玻璃的制备技术等。并详细阐述了化学气相沉积(CVD)方法的原理、特点和用途。简要概述了硅薄膜的表征......
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