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[期刊论文] 作者:马旺,李益文,赵伟灼,魏小龙,罗思海, 来源:强激光与粒子束 年份:2019
为探究轴向磁场对纯Ar感应耦合等离子体放电模式转换的影响,设计并搭建一整套等离子体产生装置展开实验研究,引入阻抗分析法对放电模式转换进行判断,并得到了朗缪尔探针法的...
[期刊论文] 作者:段朋振, 李益文, 张百灵, 魏小龙, 苌磊, 赵伟灼,, 来源:光谱学与光谱分析 年份:2019
螺旋波等离子体源以其高电离效率与高密度优势受到多个领域的青睐。螺旋波放电高电离效率的机理或者功率耦合模式,一直是困扰该领域学者的难点之一,对于放电过程与特性的诊断...
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