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[期刊论文] 作者：李沐华,赵嘉昊,尤政,
来源：强激光与粒子束 年份：2004
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一.电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究.电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括...
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