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[期刊论文] 作者：路家斌, 曹纪阳, 邓家云, 阎秋生, 胡达,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2022
为提高单晶SiC研磨加工质量和加工效率，制备固相芬顿反应研磨丸片，研究固相催化剂Fe3O4特性（粒径和质量分数）对研磨丸片的硬度、抗弯强度、气孔率、催化性能及其对单晶SiC研磨加工性能的影响。结果表明：随着Fe3O4粒径的增大，丸片的硬度和抗弯强度减小、气孔率增大、催......
[期刊论文] 作者：严杰文, 路家斌, 黄银黎, 潘继生, 阎秋生,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2022
针对芬顿反应CMP抛光GaN晶片的抛光液，开展以表面质量为评价指标的参数优化试验，找出抛光液组分的最优配比。结果表明：当H2O2质量分数为7.5%时，GaN晶片加工表面效果最优，表面粗糙度达到3.2 nm；催化剂能有效调节芬顿反应的速率，对比液体催化剂FeSO4溶液和固体催化剂Fe3O......
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