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[期刊论文] 作者：李晖龙, 路家斌, 胡达, 雒梓源,
来源：润滑与密封 年份：2023
将智能可控材料磁流变弹性体（MRE）作为化学机械抛光中的抛光垫。研究了不同磁控参数（颗粒类型、颗粒质量分数、颗粒粒径、固化磁场强度）的MRE抛光垫对单晶SiC的磁控抛光效果，并分析了MRE抛光垫的磁控材料去除机理。结果表明，磁性颗粒为羰基铁粉（CIP）比四氧化三铁Fe3O4的......
[期刊论文] 作者：熊强, 蔡伟明, 路家斌, 刘文涛, 李卫中,
来源：中国表面工程 年份：2023
抛光垫是影响抛光加工效率和表面质量的关键因素之一，但影响规律和作用机理尚不清晰。为研究抛光垫表面微细结构对抛光性能的影响规律，制作有、无固结磨料的表面六边形微细结构抛光垫，分别对YG15硬质合金、单晶Si和单晶4H-SiC三种硬度差异较大的工件进行抛光试验。......
[期刊论文] 作者：龙浩天,路家斌,胡达,邓家云,付有志,阎秋生,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2023
磁流变弹性体（magnetorheological elastomer,MRE）是一种磁控智能材料，可通过调节外加磁场强度对其机械性能（如刚度、弹性模量、固有频率、阻尼能力等）进行连续、可逆的控制，在振动控制、机械工程、土木工程等领域得到了广泛的研究和应用。将MRE作为一种磨抛工具，利用......
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