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[期刊论文] 作者:冯洁,路庆华,, 来源:分析测试学报 年份:2006
通过对3种小周期金属多层膜进行低角度X射线衍射分析,采用几种方法计算其单周期厚度及多层膜总厚度,还采用表面轮廓仪及原子力显微镜来评价多层膜的总厚度。通过比较这几种方法......
[期刊论文] 作者:罗坚,陈东升,李梅,路庆华,, 来源:材料导报 年份:2006
介绍了一种新型的紫外光刻体系,它由包含低分子量PVP(K30)作为稳定剂的钯胶和用作光刻胶的高分子量PVP(K90)/DAS组成。通过紫外光引发DAS分解及PVP交联、乙醇显影和高温处理在玻璃......
[期刊论文] 作者:徐建海,李梅,赵燕,路庆华,, 来源:化学进展 年份:2006
本文综述了近年来具有微纳米结构超疏水表面的研究进展。介绍了具有微纳米结构超疏水表面的制备方法,表面结构对超疏水性能的影响,周期性结构表面超疏水的条件,超疏水表面接...
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