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[学位论文] 作者：邓赫男,
来源： 年份：2017
基于磁悬浮技术的精密定位平台能够完全消除传统定位平台由于组件接触等原因而导致的摩擦、磨损、噪声等缺点,且具有低功耗、响应速度快、转速高等一系列优点,因此对现在制造业尤其是微电子制造业领域的技术进步起到了重要作用,同时也在高速、高精运动的定位平......
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