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[期刊论文] 作者：李洪达,石广丰,张景然,李亮,孟巳崴,邹春阳,
来源：工具技术 年份：2022
为提高单晶锗的表面加工质量，减少工件表面的崩碎及微裂纹，采用激光原位加热辅助单点金刚石车削的加工方式对单晶锗进行加工。主要研究了激光原位加热辅助单点金刚石车削工艺和常规单点金刚石车削工艺对单晶锗（111）晶面加工性能的影响，通过对比工件的表面粗糙度、位......
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