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[期刊论文] 作者：马玉婷,钟金凤,王策,严心涛,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2015
针对流式细胞成像的应用需求,设计了一维压电扫描振镜并进行了性能测试.该振镜利用微铰链梁将压电片的伸缩振动转化为反射面的旋转振动.首先,通过有限元仿真对压电振镜进行结...
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