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[期刊论文] 作者：王伟,栾剑,史鑫,陈信琦,,
来源：中国电子科学研究院学报 年份：2011
介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有...
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