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[期刊论文] 作者：潘应君, 陈淑花, 张细菊, 吴新杰, 陈大凯,,
来源：热加工工艺 年份：2005
采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,对该薄膜的结构研究表明,随着调制周期的减小,稳定态六方A1N相逐渐转变成亚稳态立方AIN相,形成以TiN/A1N超晶格结构为主的薄膜...
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