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[期刊论文] 作者：陈淑花,潘应君,陈大凯,张细菊,吴新杰,
来源：工具技术 年份：2006
采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN／AIN纳米多层膜，随着调制周期的减小，稳定态六方AIN相逐渐转变成亚稳态立方AIN相，形成以TiN／AIN超晶格结构为主的超硬薄膜。与标准图谱的对比可知，Ti......
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