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[期刊论文] 作者：苏志伟,陈庆川,韩大凯,,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2007
为了更好地提高引出离子束的均匀性,对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体(ICP)离子束源提出了三种线圈的设计方法,并对这三种线圈激发的电场进行了数值计算和比较。结果...
[期刊论文] 作者：韩大凯,陈庆川,王经权,,
来源：真空 年份：2007
磁控溅射是现代最重要的镀膜方法之一,具有简单,控制工艺参数精确和成膜质量好等特点。然而也有靶材利用率低、成膜速率低和离化率低等缺点。研究表明磁场结构对上述问题有重...
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