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[期刊论文] 作者：蒋钊, 唐德礼, 陈庆川, 周晖, 肖更竭, 郑军, 马占吉,
来源：真空与低温 年份：2019
真空阴极电弧离子源是多弧离子镀膜设备的核心部件,直接影响镀膜系统的整体性能。真空阴极电弧离子源在工作时,大液滴发射是阻碍电弧离子镀技术广泛深入应用的瓶颈问题。合理...
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